| Производственные процессы | Подробное описание |
| Газоаналитический комплекс |
Дополнительная информация: ЭМГ-20-1
|
| Технологический вакуумный пост |
Дополнительная информация: ТВП-К - безмаслянная откачка до давления 0,1 Па
|
| Спектрометр ионной подвижности |
Дополнительная информация: АИП-4М
|
| Масс-спектрометр |
Дополнительная информация: ЭМГ-20-1
|
